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GZK512/GZK712 高真空电磁阀全场景应用解决方案

GZK系列高真空电磁阀产品介绍


GZK512/GZK712系列高真空电磁阀华通气动自主研发的高品质产品,完全对标进口系列,安装尺寸100%兼容,性能达到国际先进水平。产品广泛应用于半导体、光伏、锂电等高端制造领域,为客户提供稳定可靠的真空与气体控制解决方案。

GZK512 系列高真空电磁阀

40mm幅宽紧凑型设计,通径涵盖φ4.5、φ6等多种规格,属于通电时打开型(NC),通过CE认证,适用于多种高真空与惰性气体精确控制场景。

  • ✓ 适用流体:空气、真空、惰性气体

  • ✓ 耐压力可达5.0MPa

  • ✓ 泄漏率≤1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s(He)

  • ✓ 200万次超长使用寿命

  • ✓ 多种连接方式:JXR公接头、双卡套、NPT/RC螺纹

GZK712 系列高真空电磁阀

70mm幅宽大口径设计,通径有φ12和φ15两种规格,属于通电时打开型(NC),配管口径法兰φ52,符合RoHS标准,专为大流量真空及惰性气体控制设计。

  • ✓ 适用流体:真空及惰性气体

  • ✓ Cv值最高可达4.7,流量大

  • ✓ 泄漏率≤1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s(He)

  • ✓ 多种电压规格:AC100V、AC200V、DC24V

  • ✓ 连接方式:法兰φ52、VCR接头

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产品实物展示

GZK512高真空电磁阀实物图1GZK712高真空阀2.JPGGZK512高真空阀1.JPGGZK512高真空阀2.JPG

核心技术优势


华通气动凭借六十余年气动元件研发制造经验,打造出性能卓越、品质可靠的高真空电磁阀产品,已服务全球10000+工程师和30+行业头部客户。

【卓越密封】

阀座泄漏和外部泄漏均控制在1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s(He)以下,有效防止流体泄漏,确保系统真空度和气体纯度。

【超长寿命】

可承受200万次开关循环,比传统产品提升40%,大幅降低更换频率和维护成本,提高设备稼动率。

【低耗节能】

优化的电磁线圈设计,长时间通电工况下节能效果显著,减少能源消耗,降低系统运行成本。

【自由安装】

可根据安装空间任意方向安装,有效节省设备空间,便于系统集成和现场安装调试。

【多样连接】

提供双卡套接头、NPT/RC螺纹、法兰连接、VCR接头等多种选择,满足不同行业和设备的连接需求。

【高洁净度】

洁净度符合SEMI标准,阀体采用优质不锈钢材质,适用于半导体、锂电等高洁净要求行业。

我们的工程师将在2小时内为您提供专属技术支持,立即咨询

八大核心应用场景


GZK512/GZK712系列高真空电磁阀适用于多种高端制造领域,为不同行业提供专业可靠的真空与气体控制解决方案。

半导体制造用GZK512高真空电磁阀

1. 半导体制造行业

半导体芯片制造的所有核心工艺都在高真空/超高真空环境下进行,对阀门的密封性能、洁净度和可靠性要求极高。GZK系列阀门凭借卓越的性能,成为半导体设备的理想选择。

核心应用环节:

  • 离子注入机:GZK512用于工艺气体(磷烷、砷烷)的精确通断控制

  • 薄膜沉积设备(PVD/CVD):GZK712用于反应腔室与真空泵组之间的隔离

  • 干法刻蚀设备:控制刻蚀气体(Cl₂、CF₄)的通入路径

  • 晶圆传输系统:隔离不同真空腔室,防止交叉污染

2. 新能源光伏行业

光伏电池生产中的薄膜沉积、扩散、刻蚀等关键工艺都需要高真空环境。GZK系列阀门凭借高可靠性和长寿命,能够满足光伏行业大规模、连续化生产的需求。

核心应用环节:

  • PERC电池背钝化镀膜:GZK512用于氧化铝薄膜沉积过程中的气体流量控制

  • TOPCon电池硼扩散工艺:控制硼源气体的通入与切断

  • HJT电池PECVD设备:GZK712用于硅片表面非晶硅薄膜沉积的真空系统控制

  • 光伏玻璃镀膜:控制氩气等惰性气体的通入量

光伏PECVD用GZK712高真空电磁阀
锂电池用GZK512高真空电磁阀

3. 锂离子电池制造行业

锂电池生产中的多个关键工艺都依赖真空技术。GZK系列阀门的金属污染控制特性可有效防止电池自放电率升高,提升电池循环寿命和安全性。

核心应用环节:

  • 极片真空干燥:GZK712用于真空干燥箱的抽气与隔离

  • 电解液真空注入:GZK512用于注液机的真空系统控制

  • 化成与脱气:抽取锂电池化成过程中产生的气体

  • 真空封装:在电池最后封装环节实现高效真空封装

4. 高纯气体系统应用

高纯气体(电子特气、高纯氮、高纯氩等)的输送和分配系统对阀门的密封性能和洁净度要求极高。任何微小泄漏都会导致气体纯度下降,影响产品质量。

核心应用场景:

  • 电子特气输送系统:适用于硅烷、磷烷等高危电子特气的输送控制

  • 半导体厂中央供气系统:用于气体分配箱(VMB/VMP)中的支路控制

  • 实验室气路系统:为分析仪器提供安全可靠的气体

  • 气体纯化设备:控制纯化过程中的气体流向

高纯气体用GZK512高真空电磁阀

5. 盾构机高纯气体系统

盾构机施工中的氮气系统是关键的安全与辅助系统。GZK系列阀门的高可靠性和快速响应能力,能够在恶劣的施工环境下稳定工作。

  • 土仓惰化与防爆:控制高纯氮气注入土仓,消除爆炸风险

  • 土压平衡调节:帮助精确稳定地调节土仓压力

  • 带压作业生命支持系统:用于氦氮氧"三元混合气"的配比与输送

6. 流化床反应器系统

流化床反应器广泛应用于化工、制药、材料等行业。GZK系列阀门适用于流化床系统中的真空取样、添加剂抽吸等环节。

  • 真空取样系统:GZK512用于气液固三相同时取样装置

  • 添加剂抽吸系统:控制真空设施与添加剂储料斗之间的连接

  • 反应气氛控制:调节反应气体的通入量和流向

7. 真空镀膜行业

真空镀膜技术广泛应用于光学、电子、装饰、工具等领域。GZK系列阀门的快速动作特性可精准控制镀膜厚度和均匀性。

  • 磁控溅射镀膜:控制氩气等工作气体的通入量

  • 电子束蒸发镀膜:用于真空系统的抽气与隔离

  • 光学镀膜:精确控制多种镀膜材料气体的流量

8. 科研与其他应用

GZK系列高真空电磁阀凭借稳定可靠的性能,也广泛应用于科研实验、真空热处理、生物医药等多个领域。

  • 大型科研设施:同步辐射光源、粒子加速器真空系统

  • 航空航天:部件真空淬火、粉末冶金烧结

  • 生物医药:真空冷冻干燥机、无菌灌装设备

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技术参数


GZK系列高真空电磁阀提供多种规格选择,满足不同行业和应用的需求,支持非标定制。

GZK512系列技术参数

参数项目GZK512-4.5GZK512-6
通径(mm)4.56
幅宽(mm)40
Cv值0.61.05
使用压力范围(abs)1.0×10⁻⁶~0.8×10⁶Pa1.0×10⁻⁶~0.3×10⁶Pa
最高工作压力差0.8MPa0.3MPa
背压(MPa)0.20.15
泄漏率≤1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s(He)
耐压力5.0MPa
流体温度5~55℃
环境温度0~55℃(不得冻结)
额定电压DC24V
功耗11.8W11.5W
绝缘等级B级(130)
使用寿命200万次
阀体材质SUS304/SCS13
密封材质FKM(氟橡胶),可定制全氟醚橡胶
连接方式JXR公接头、双卡套、NPT/RC螺纹
重量(kg)0.69

GZK712系列技术参数

参数项目GZK712-12F-12BGZK712-12F-12HGZK712-15F-15BGZK712-15F-15H
通径(mm)1215
幅宽(mm)70
Cv值(直管)3.24.3
Cv值(L方向)3.64.7
使用压力范围(abs)1.3×10⁻⁶~1.5×10⁵Pa1.3×10⁻⁶~3.0×10⁵Pa1.3×10⁻⁶~1.0×10⁵Pa
最高工作压力差0.15MPa0.3MPa0.1MPa
背压(MPa)0.10.02/0.1
泄漏率≤1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s(He)
耐压力0.5MPa
流体温度5~55℃
环境温度0~55℃(不得冻结)
额定电压AC100V、AC200V(50/60Hz)、DC24V
功耗AC:32.5W DC:40W
绝缘等级B级(130)H级(180)B级(130)H级(180)
使用寿命200万次
阀体材质SCS13
密封材质FKM(氟橡胶),可定制全氟醚橡胶
连接方式法兰φ52、VCR接头
重量(kg)2.0

选型指南


GZK512系列推荐应用

  • 半导体离子注入机气体控制

  • 锂电池电解液真空注入

  • 高纯气体小流量控制

  • 流化床真空取样系统

  • 实验室分析仪器气路

GZK712系列推荐应用

  • 光伏电池PECVD镀膜设备

  • 锂电极片真空干燥系统

  • 盾构机氮气惰化系统

  • 半导体PVD/CVD腔室隔离

  • 大型真空镀膜设备

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国产替代核心价值


选择华通气动GZK系列高真空电磁阀,不仅能获得国际先进水平的产品性能,还能享受国产替代带来的多重优势。

【完全兼容】

安装尺寸、接口标准与进口产品100%兼容,无需改造设备即可直接替换

【快速交付】

国内生产基地,交货周期缩短至7-15天,远优于进口产品的4-8周

【成本优势】

价格仅为进口产品的50%-60%,大幅降低设备采购和维护成本

【技术支持】

提供本地化技术服务,24小时响应客户需求,现场解决问题

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可根据客户特殊需求进行定制化设计,满足不同行业的个性化要求

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提供您的应用场景或需求,我们的工程师将在2小时内为您推荐合适产品,并免费提供整体解决方案。

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